摘要：超快激光加工作为一种先进的制造技术，具有真三维加工、适用多种材料、微纳加工精度等优点，无论在工业和科研上都获得广泛应用。我们1）提出了基于空间光调制技术的多焦点阵列、可设计的焦场来提高加工效率和消除折射率失配引起的光畸变；2）揭示了激光与多种材料的相互作用机理，如形状记忆材料的自生长、非线性晶体的系数擦除效应；3）发展了不同技术复合的激光微纳加工手段和工艺，如结合bottom-up技术、湿法腐蚀和退火等工艺。并基于以上新技术原理实现了特种功能微纳器件制备，如用于光互连的三维微纳光子学器件、用于靶向药物治疗的微纳机器人、用于油水分离的仿生功能微结构等。

报告人简介：中国科学技术大学教授, 全国百篇优博和青年千人，中国激光杂志青年编委，Frontiers of Optoelectronics编委，美国光学学会（OSA）旗下国际权威期刊Optics Letters的Topical Editor。2010年于吉林大学获微电子学与固体电子学博士学位。2011年在日本理化学研究所做博士后，2014年到中科大。长期从事超快激光微纳加工技术及其应用研究，在Nat. Photonics（封面文章，入选中国光学十大进展）, Nat. Comm., Light:Sci & Appl. (入选ESI“高被引论文”)，PNAS(美国科学院院刊)，Adv.Mater.等杂志发表论文120余篇，其中影响因子10.0以上30篇，所发表的论文被杂志封面采用、专题评价、最高下载和转载累计50篇次，已被他引3500余次。主持基金委重大仪器、中科院仪器、面上等项目。

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